KS-41A
液中パーティクルセンサ、レジスト用
フォトレジスト溶液やSOG中の粒子を0.15μmから測定可能
- 多点監視システムに接続可能
仕様
| 光学系方式 | 側方散乱方式 |
|---|---|
| 光源 | 半導体レーザ（波長830nm、定格出力200mW） |
| 接液部材質 | 合成石英、PFA |
| 粒径区分 | 0.15μm～0.5μmの範囲で10段階 出荷時：0.15μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm以上の4段階 |
| 定格流量 | 10mL/min |
| 最大粒子個数濃度 | 1,200個/mL（計数損失5%以内） |
| 電源 | DC12V（KE-40B1より供給） |
| 大きさ | 約160（H）×300（W）×251（D）mm（突起物を除く） |
| 重さ | 約7.5kg |