液中パーティクルカウンタ
写真または製品名をクリックして詳細をご確認ください。
表示切替
バッチサンプリング測定用
-
KS-41B液中パーティクルセンサ、レジスト用
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 5mL/min 最大粒子個数濃度 9,600個/mL（計数損失10%以内） -
KS-41A液中パーティクルセンサ、レジスト用
最小可測粒径 0.15μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内） -
KS-20F液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.02μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 50,000個/mL（計数損失10%以内） -
KS-19F液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.03μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 40,000個/mL（計数損失10%以内） -
KS-18FX液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.04μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 30,000個/mL（計数損失10%以内） -
KS-18F液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 30,000個/mL（計数損失10%以内） -
KS-42A液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内） -
KS-42AF液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内） -
KS-42B液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内） -
KS-42BF液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内） -
KS-42C液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.5μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL（計数損失5%以内） -
KS-42D液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 2μm 定格流量 25mL/min 最大粒子個数濃度 10,000個/mL（計数損失10%以内） -
KS-42C（改）液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.5μm 定格流量 3mL/min 最大粒子個数濃度 3,000個/mL（計数損失10%以内） -
XP-65液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 3mL/min 最大粒子個数濃度 3,000個/mL（計数損失10%以内）
インライン測定用
-
KL-30B液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 試料流量
定格流量10mL/minとパージ流量0.1～1L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動）最大粒子個数濃度 200,000個/ｍL（計数損失10 %以内） -
KL-30AX液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
最小可測粒径 0.04μm 定格流量 試料流量
定格流量20mL/minとパージ流量0.1～1L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動）最大粒子個数濃度 15,000個/ｍL（計数損失10 %以内） -
KL-30A液中パーティクルカウンタ、純水用、プリンタ内蔵
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 試料流量
定格流量20mL/minとパージ流量0.1～1L/minの合計（ただしパージ流量は試料圧力により変動）最大粒子個数濃度 15,000個/ｍL（計数損失10%以内） -
KS-17B液中パーティクルセンサ、純水用
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 100,000個/ｍL（計数損失5%以内） -
KS-16液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/ｍL（計数損失5%以内） -
KS-16F液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/ｍL（計数損失5%以内） -
KL-28B液中パーティクルカウンタ
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/ｍL（計数損失5%以内） -
KL-28BF液中パーティクルカウンタ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/ｍL（計数損失5%以内）
