バッチサンプリング測定用
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KS-41B液中パーティクルセンサ、レジスト用
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 5mL/min 最大粒子個数濃度 9,600個/mL(計数損失10%以内) -
KS-41A液中パーティクルセンサ、レジスト用
最小可測粒径 0.15μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内) -
KS-20F液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.02μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 50,000個/mL(計数損失10%以内) -
KS-19F液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.03μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 40,000個/mL(計数損失10%以内) -
KS-18FX液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.04μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 30,000個/mL(計数損失10%以内) -
KS-18F液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.05μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 30,000個/mL(計数損失10%以内) -
KS-42A液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内) -
KS-42AF液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.1μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内) -
KS-42B液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内) -
KS-42BF液中パーティクルセンサ、フッ化水素酸対応
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内) -
KS-42C液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.5μm 定格流量 10mL/min 最大粒子個数濃度 1,200個/mL(計数損失5%以内) -
KS-42D液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 2μm 定格流量 25mL/min 最大粒子個数濃度 10,000個/mL(計数損失10%以内) -
KS-42C(改)液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.5μm 定格流量 3mL/min 最大粒子個数濃度 3,000個/mL(計数損失10%以内) -
XP-65液中パーティクルセンサ
最小可測粒径 0.2μm 定格流量 3mL/min 最大粒子個数濃度 3,000個/mL(計数損失10%以内)